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| 品牌 | Newport/美國 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 電動 |
| 應用領域 | 綜合 |
MFA 系列微型鋼線性位移臺產品規格
| 型號 |  | ||
| MFA-PPD | MFA-CC | MFA-CCV6 | |
| 行程范圍 | 25 mm | 25 mm | 25 mm |
| 最大速度 | 1 mm/s | 2.5 mm/s | 1.25 mm/s |
| 中心負載能力 | 50 N | 50 N | 25 N |
| 軸向負載 (+Cx) | 10 N | 10 N | 5 N |
| 逆軸向負載能力 (-Cx) | -10 N | -10 N | -5 N |
| 最小位移增量 | 100 nm | 100 nm | 100 nm |
| 精度，典型值 | ±0.9 µm | ±0.7 µm | ±1.0 µm |
| 精度，保證值 | ±3.0 µm | ±3.0 µm | ±3.0 µm |
| 單向重復精度，典型值 | ±0.12 µm | ±0.08 µm | ±0.08 µm |
| 單向重復精度，保證值 | ±0.25 µm | ±0.15 µm | ±0.15 µm |
| 雙向重復精度，保證值 | ±0.75 µm | ±0.75 µm | ±1.0 µm |
| 雙向重復精度，典型值 | ±0.2 µm | ±0.15 µm | ±0.2 µm |
| 俯仰，典型值 | ±25 µrad | ±25 µrad | ±25 µrad |
| 俯仰，保證值 | ±100 µrad | ±100 µrad | ±100 µrad |
| 俯仰順應性 | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm |
| 偏擺，典型值 | ±30 µrad | ±30 µrad | ±30 µrad |
| 偏擺，保證值 | ±50 µrad | ±50 µrad | ±50 µrad |
| 偏擺順應性 | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm |
| 滾轉順應性 | 60 µrad/Nm | 60 µrad/Nm | 60 µrad/Nm |
| 原點重復精度 | ±2.5 µm | ±2.5 µm | ±2.5 µm |
| 驅動方式 | Stepper Motor | DC Motor | DC Motor |
| 軸承 | Double-Row Ball Bearings | Double-Row Ball Bearings | Double-Row Ball Bearings |
| 螺紋類型 | M2 and M3 | M2 and M3 | M2 and M3 |
| 電纜長度 | 3 m | 3 m | 1.5 m |
| 真空兼容性 | No | No | 10-6 Torr |
| MTBF | 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) | 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) | 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) |
| Compliance | |||
Newport專有的雙列直線球軸承設計具有直接加工到平臺結構框架中的軸承方式，可實現非常順暢的行程，更長的耐用性和更長的使用壽命。 與使用商用軸承的其他解決方案相比，MFA線性位移臺具有更高的負載能力和剛度，并且俯仰和偏航誤差也較小。
直流電動機的最大特點是速度快，運動平穩，效率高，功率/重量比高。MFA-CC直流電動機具有一個集成的齒輪箱和一個電動機安裝的旋轉編碼器。這個2,048 cts / rev 高分辨率的旋轉編碼器提供位置反饋。 結合低摩擦機械設計，MFA-CC可提供100納米靈敏度的超平滑運動。 更快的運動，更高的可靠性和更低的游隙使直流電動機驅動的位移臺非常適合要求小增量運動，高動態速度和良好重復性的應用。
對于要求不高的應用，步進電機可能是比直流電機更經濟的解決方案。 步進電動機使用磁吸和排斥的基本原理進行操作，將數字脈沖轉換為機械軸的旋轉。 為了提高運動的分辨率和平滑度，MFA-PPD具有微米步進功能，這是一種將運動的完整步長以電子方式劃分為大量局部步長的方法。
全鋼機身允許使用更為緊湊的設計，使之具有出色的剛度重量比、更高的熱穩定性和載重能力。
平移臺兩端具有運行端點限位開關，以防止平移臺因超程而受損。
有關更多用途和安裝選項，頂板和底板 可以單獨訂購實現垂直（Z軸）安裝和光學平臺安裝。 對于垂直安裝，請注意，垂直（Z軸）平臺應連接到
MFA-CCV6 是 MFA 的真空兼容版本，可兼容 10-6 hPa。
Newport還提供了集成CONEX控制器的直流電機線性工作臺CONEX-MFACC。對于開箱即用的控制，CONEX控制器是預配置的，并與MFA-CC級一起交付。
適用于MFA系列級的兼容運動控制器有:
1.XPS-RLD運動控制器 (2或4軸):需要一個XPS-DRV11驅動模塊。
2.XPS-D運動控制器(2、4、6或8軸):需要一個XPS-DRV11驅動模塊
3.運動控制器 (1軸、2軸或3軸) :即插即用兼容。
4.SMC單軸運動控制器 (CC或PP): 即插即用兼容
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