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        極紫外 (EUV) 二向色濾光片

        簡要描述:極紫外 (EUV) 二向色濾光片
        在高次諧波發(fā)生器中將極紫外(EUV)與近紅外激光源分開
        專為高損傷閾值設(shè)計
        支持從10 - 40納米的應(yīng)用
        現(xiàn)貨儲備
        無最小起訂量、無鍍膜批次收費(fèi)

        基礎(chǔ)信息

        產(chǎn)品型號

        廠商性質(zhì)

        經(jīng)銷商

        更新時間

        2026-01-06

        瀏覽次數(shù)

        1460
        詳細(xì)介紹
        品牌Edmund Optics價格區(qū)間面議
        組件類別光學(xué)元件應(yīng)用領(lǐng)域綜合

        極紫外 (EUV) 二向色濾光片

        在高次諧波發(fā)生器中將極紫外(EUV)與近紅外激光源分開

        專為高損傷閾值設(shè)計

        支持從10 - 40納米的應(yīng)用

        現(xiàn)貨儲備

        無最小起訂量、無鍍膜批次收費(fèi)


        通用規(guī)格

        直徑 (mm):
        50.80
        入射角 (°):
        78
        基底:
        Fused Silica (Corning 7980)
        涂層:
        Dielectric Multilayer AR
        表面質(zhì)量:
        20-10
        厚度 (mm):
        5.08 ±0.1
        平行度(弧分):
        <5
        尺寸容差 (mm):
        +0.0/-0.2
        面形計算 (RMS):
        <λ/10 @ 633nm


        型號


        產(chǎn)品編碼Dia. (mm)厚度 (mm)波長范圍 (nm)
        18-27950.80 5.08 ±0.110 - 25 
        18-28050.80 5.08 ±0.120 - 40 


        詳細(xì)資料

        極紫外(EUV)二向色濾光片也被稱為分束鏡,是通過在極紫外(EUV)和近紅外波長之間提供高分離效率,用于高次諧波產(chǎn)生的應(yīng)用。這些濾光片采用熔融石英基片,相比其他布魯斯特角光束分離器和極紫外(EUV)濾光片,能支持更高的激光功率。極紫外(EUV)二向色濾光片的帶寬范圍從10納米到40納米。 除了高次諧波產(chǎn)生,這些濾光片還可用于支持極紫外(EUV)應(yīng)用的系統(tǒng),如EUV光刻、EUV納米加工、相干衍射成像和超快阿秒脈沖產(chǎn)生。


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